Уваров Илья Владимирович
Уваров Илья Владимирович

Оптимизация рабочих характеристик МЭМС-переключателя на основе кантилевера

Физическая электроника
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.2
  • 33
  • 5663
  • Страницы: 140-144

Рутений как материал электродов быстрого электрохимического актюатора

Физическое материаловедение
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.2
  • 14
  • 5620
  • Страницы: 280-284

МЭМС-переключатель с контактами из платины и рутения

Радиофизика
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 20
  • 5264
  • Страницы: 335-339

Изготовление микронасоса на основе быстрого электрохимического актюатора с ПДМС-мембраной

Приборы и техника физического эксперимента
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 18
  • 5540
  • Страницы: 376-380

Тестирование быстрого электрохимического насоса с ПДМС мембраной

Физическая электроника
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 7
  • 4302
  • Страницы: 423-427

МЭМС-переключатель на основе кантилевера с увеличенным контактным усилием: первые результаты

Физическая электроника
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 22
  • 4620
  • Страницы: 428-433

Моделирование емкостного МЭМС-переключателя с «плавающим» электродом

Физическая электроника
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 28
  • 4678
  • Страницы: 454-458

Компактный МЭМС-переключатель для перспективных радиолокационных систем

Физическая электроника
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.1
  • 12
  • 3202
  • Страницы: 178-181

Комбинированный резистивно-емкостной МЭМС-переключатель для передовых систем связи

Физическая электроника
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.1
  • 13
  • 3114
  • Страницы: 186-190

Быстрый и сильный микроактюатор на основе взрыва водород-кислородной смеси

Механика
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.1
  • 15
  • 3117
  • Страницы: 340-344

МЭМС-переключатель с дополнительным электродом для систем высокоскоростной связи

Физическая электроника
  • Год: 2025
  • Том: 18
  • Выпуск: 3.1
  • 4
  • 750
  • Страницы: 178-181

Компактный МЭМС-переключатель на основе кантилевера с тремя упругими элементами

Физическая электроника
  • Год: 2025
  • Том: 18
  • Выпуск: 3.2
  • 5
  • 665
  • Страницы: 168-171