Уваров Илья Владимирович

Оптимизация рабочих характеристик МЭМС-переключателя на основе кантилевера

Физическая электроника
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.2
  • 23
  • 1559
  • Страницы: 140-144

Рутений как материал электродов быстрого электрохимического актюатора

Физическое материаловедение
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.2
  • 12
  • 1593
  • Страницы: 280-284

МЭМС-переключатель с контактами из платины и рутения

Радиофизика
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 14
  • 1362
  • Страницы: 335-339

Изготовление микронасоса на основе быстрого электрохимического актюатора с ПДМС-мембраной

Приборы и техника физического эксперимента
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 15
  • 1465
  • Страницы: 376-380

Тестирование быстрого электрохимического насоса с ПДМС мембраной

Физическая электроника
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 1
  • 294
  • Страницы: 423-427

МЭМС-переключатель на основе кантилевера с увеличенным контактным усилием: первые результаты

Физическая электроника
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 9
  • 339
  • Страницы: 428-433

Моделирование емкостного МЭМС-переключателя с «плавающим» электродом

Физическая электроника
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 9
  • 345
  • Страницы: 454-458