Комбинированный резистивно-емкостной МЭМС-переключатель для передовых систем связи

Основной характеристикой емкостного микроэлектромеханического (МЭМС) переключателя является отношение емкостей в замкнутом и разомкнутом состоянии. В стандартных изделиях это отношение обычно не превышает 10 и может быть увеличено в несколько раз за счет использования электрода с плавающим потенциалом. В работе исследуется зависимость емкостных характеристик, изоляции и вносимых потерь ключа с «плавающим» электродом от материала подложки.