Моделирование емкостного МЭМС-переключателя с «плавающим» электродом

Основной характеристикой емкостного МЭМС-переключателя является отношение емкостей в разомкнутом и замкнутом состояниях. Для стандартных изделий это отношение составляет от нескольких единиц до нескольких десятков. Однако его можно значительно увеличить, используя «плавающий» электрод на линии передач. Согласно аналитическим расчетам, отношение емкостей модифицированного переключателя составляет около 10⁵. Моделирование методом конечных элементов учитывает паразитную емкость и дает существенно меньшее значение. В настоящей работе исследована зависимость емкостных характеристик ключа и S-параметров от свойств подложки и предложены способы их улучшения.