Тестирование быстрого электрохимического насоса с ПДМС мембраной
Микрофлюидные системы способны выполнять прецизионную доставку лекарств к органам человека. Для этой задачи им необходим компактный насос с высоким расходом жидкости и точной дозировкой. Предложенный в работе насос на основе быстрого электрохимического актюатора отвечает указанным требованиям. Устройство содержит три актюатора с ПДМС мембраной, изготовленные на стеклянной подложке, и канал для перекачиваемой жидкости на кремниевой подложке. Боковые стенки актюаторов и канала выполнены из фоторезиста SU-8. Перекачка жидкости осуществляется перистальтическим методом. Рабочая часть насоса имеет объем 3 мм3, что на порядок меньше по сравнению с классическими устройствами. Компактные размеры обеспечивают сверхточную дозировку 0,14 нл. Рабочие характеристики подходят для систем доставки лекарств. В работе описана конструкция устройства и процесс тестирования.