НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "МЭМС"

Моделирование емкостного МЭМС-переключателя с «плавающим» электродом

Физическая электроника
Морозов М.О. Уваров И.В.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 10
  • 622
  • Страницы: 454-458

МЭМС-переключатель на основе кантилевера с увеличенным контактным усилием: первые результаты

Физическая электроника
Белозеров И.А. Уваров И.В.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 11
  • 573
  • Страницы: 428-433

Тестирование быстрого электрохимического насоса с ПДМС мембраной

Физическая электроника
Шлепаков П.С. Уваров И.В. Абрамычев А.М. Световой В.Б.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 3
  • 524
  • Страницы: 423-427

МЭМС-переключатель с контактами из платины и рутения

Радиофизика
Уваров И.В. Наумов В.В. Куприянов А.Н. Изюмов М.О. Амиров И.И.
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 15
  • 1597
  • Страницы: 335-339

Малоиндукционный интегральный нагреватель для термостатирования МЭМС газовой ячейки

Физическая электроника
Кенесбай Р. Эннс Я.Б. Казакин А.Н. Клейманов Р. Акульшин Ю.Д.
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 19
  • 1663
  • Страницы: 147-150

Оптимизация рабочих характеристик МЭМС-переключателя на основе кантилевера

Физическая электроника
Белозеров И.А. Уваров И.В.
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.2
  • 23
  • 1784
  • Страницы: 140-144