Оптимизация рабочих характеристик МЭМС-переключателя на основе кантилевера

Физическая электроника
Авторы:
Аннотация:

МЭМС-переключатели сочетают в себе достоинства электромагнитных реле и полупроводниковых ключей, однако до сих пор не нашли широкого применения. Одной из причин является высокое напряжение срабатывания. В этой работе снижение напряжения достигается путем оптимизации формы электродов. Выполнено моделирование переключателя методом конечных элементов. Получены зависимости
напряжения срабатывания от геометрических параметров конструкции. Предложенная форма электродов уменьшает напряжение практически вдвое по сравнению с классическим исполнением без ухудшения других рабочих характеристик.