МЭМС-переключатель на основе кантилевера с увеличенным контактным усилием: первые результаты

МЭМС-переключатели представляют значительный интерес для перспективных радиоэлектронных систем, но невысокая надежность ограничивает их применение. Переключатель развивает малое контактное усилие, что приводит к высокому и нестабильному контактному сопротивлению. Усилие обычно увеличивается за счет использования электродов сложной формы и большой площади, однако простая и компактная конструкция более предпочтительна. В этой работе представлен ключ на основе миниатюрного кантилевера. Описана методика увеличения силы прижима путем подбора вертикальных размеров изделия. Тестовые устройства изготовлены и испытаны, выполнено сравнение рабочих характеристик с результатами расчетов.