Изготовление микронасоса на основе быстрого электрохимического актюатора с ПДМС-мембраной

Микрофлюидные устройства способны выполнять прецизионную доставку лекарств в тело человека. Для этой задачи они должны быть оснащены компактным и энергоэффективным микронасосом. Предложенный ранее микронасос на основе быстрого электрохимического актюатора отвечает этим требованиям. Он содержит три актюатора, работающих в перистальтическом режиме. Первая версия насоса функционировала неудовлетворительно вследствие недостатков технологии изготовления. В этой работе предложен модифицированный технологический маршрут. В качестве материала мембраны актюатора используется  полидиметилсилоксан (ПДМС), что увеличивает выход годных образцов. Технология включает нанесение ПДМС на гибкую пленку и два процесса сращивания мембраны с фоторезистом SU-8.