SPbPU Journal - Physics and Mathematics
St. Petersburg Polytechnic University Journal: Physics and Mathematics Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University
en Английский
Version for the visually impaired
Since 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
Submit Your Paper

Articles by keywords "wet chemical etching"

Combined approach of patterning on SiO2/Si substrate using ion beam and chemical wet etching

Condensed matter physics
Eremenko M.M. Shandyba N.A. Chernenko N.E. Jityaeva J.Yu. Balakirev S.V. Solodovnik M.S.
  • Year: 2024
  • Volume: 17
  • Issue: 3.1
  • 13
  • 1185
  • Pages: 75-78

Сообщить автору об опечатке:

Адрес страницы с ошибкой:

Текст с ошибкой:

Ваш комментарий или корректная версия: