Ignatenko Viktor A.
  • Affiliation
    Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University
  • St. Petersburg, Russian Federation

Study of the effect of dynamic and temperature inhomogeneities on epitaxial processes in a horizontal CVD reactor

Simulation of physical processes
  • Year: 2023
  • Volume: 16
  • Issue: 1.1
  • 16
  • 3111
  • Pages: 336-340

Сообщить автору об опечатке:

Адрес страницы с ошибкой:

Текст с ошибкой:

Ваш комментарий или корректная версия: