Повышение эффективности удаления остаточного полимера после переноса графена для повышения чувствительности сенсоров
При переносе графена с использованием полиметилметакрилата удается формировать высокочувствительные сенсоры на основе графена с высокой воспроизводимостью геометрических параметров канала на микроуровне и малой дефектностью. Однако, удаление остаточного полимера остаётся актуальной проблемой. Было осуществлен перенос графена с использованием ПММА с различной молекулярной массой на Si/SiO2 подложки. Для удаления слоя ПММА сравнивались различные методики с применением широко используемых растворителей. При использовании наиболее эффективной методики очистки, толщина перенесённого графена с остаточным ПММА составила менее 1 нм, а соотношение 2D/G составило ~5. С помощью разработанных методик удаления остаточного ПММА может быть обеспечено увеличение чувствительности для недорогих многоразовых сенсоров на основе графена.