НТВ Физико-математические науки
    Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические наукиCанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
    Издается с 2008
    ISSN 2304-9782
    ISSN 2618-8686
    ISSN 2405-7223
    ruРусский
    Версия для слабовидящих
    Подать статью

    Статьи по ключевому слову "атомно-слоевое осаждение"

    Физическое осаждение атомных слоев и рост предельно-тонких пленок: сорокалетняя серия исследований системы тугоплавкий металл-кремний

    Физическое материаловедение
    Плюснин Н.И.
    • Год: 2025
    • Том: 18
    • Выпуск: 4.1
    • 9
    • 872
    • Страницы: 128-132

    Структурные и оптические свойства слоев InP, полученных методом плазмохимического атомно-слоевого осаждения при различных температурах

    Физическое материаловедение
    Уваров А.В.Баранов А.И.Максимова А.А.Вячеславова Е.А.Поздеев В.А. Михайлов О.П.Никитина Е.В.Гудовских А.С.
    • Год: 2025
    • Том: 18
    • Выпуск: 3.1
    • 7
    • 971
    • Страницы: 247-251

    Влияние плазменной обработки in situ при атомно-слоевом осаждении GaN на скорость роста и морфологию пленки

    Физика молекул, кластеров и наноструктур
    Максимова А.А.Уваров А.В.Вячеславова Е.А.Баранов А.И.Ярчук Э.Я.Гудовских А.С.
    • Год: 2024
    • Том: 17
    • Выпуск: 3.2
    • 17
    • 2896
    • Страницы: 152-156

    Свойства ультратонких эпитаксиальных пленок нитрида ниобия на сапфире с С–cut ориентацией

    Физика конденсированного состояния
    Шибалов М.В.Сиротина А.П.Першина Е.А.Шибалова А.А.Мумляков А.М.Порохов Н.В.Тархов М.А.
    • Год: 2023
    • Том: 16
    • Выпуск: 3.1
    • 11
    • 4942
    • Страницы: 69-73

    Исследование фотопреобразовательных гетеропереходов n-GaP/p-Si, полученных методом PE-ALD

    Гетероструктуры, сверхрешетки, квантовые ямы
    Кияницын С.Ю.Баранов А.И.Уваров А.В.Максимова А.А.Вячеславова Е.А.Гудовских А.С.
    • Год: 2023
    • Том: 16
    • Выпуск: 1.3
    • 19
    • 4868
    • Страницы: 90-95

    Декоративные защитные покрытия, наносимые методом атомно-слоевого осаждения, и расчет спектральных характеристик таких покрытий

    Физическая оптика
    Аксенова В.В.Меш М.В.Колоколов Д.С.Карцева Т.Ю.Федоров Н.А.Павлюченко А.С.
    • Год: 2023
    • Том: 16
    • Выпуск: 1.2
    • 26
    • 5213
    • Страницы: 165-171

    Смачиваемость прозрачных проводящих наноструктурированных покрытий ITO и ITO/Al2O3

    Атомная физика, физика кластеров и наноструктур
    Аксенова В.В.Смирнова И.П.Марков Л.К.Павлюченко А.С.Колоколов Д.С.Волков Д.Ю.
    • Год: 2023
    • Том: 16
    • Выпуск: 1.1
    • 33
    • 5553
    • Страницы: 404-410

    Плазменно-осажденный фосфид индия и его электрофизические свойства

    Физическая электроника
    Максимова А.А.Уваров А.В.Кириленко Д.А.Баранов А.И.Вячеславова Е.А.Гудовских А.С.
    • Год: 2022
    • Том: 15
    • Выпуск: 3.3
    • 43
    • 6725
    • Страницы: 123-127