Смачиваемость прозрачных проводящих наноструктурированных покрытий ITO и ITO/Al2O3

В данной работе исследовалась смачиваемость водой наноструктурированных пленок ITO, в том числе с защитными слоями Al₂O₃. Пленки структурированного ITO наносились методами магнетронного распыления и  электронно-лучевого испарения на предварительно нагретую поверхность стеклянной подложки, после чего дополнительно отжигались в атмосфере азота в течение 10 мин. Сверху часть образцов была покрыта  слоем оксида алюминия различной толщины. Защитное покрытие Al₂O₃ наносилось методом атомно-слоевого осаждения. Для оценки смачиваемости измерялись краевые углы капель воды на горизонтальной  поверхности пленок. Результаты показывают, что в зависимости от метода нанесения и толщины пленки структурированного ITO могут обладать как гидрофильными, так и гидрофобными свойствами. В случае  нанесения на пленку структурированного ITO, нанесенного методом электронно-лучевого испарения, защитного покрытия из оксида алюминия можно значительно улучшить гидрофобные свойства структурированного ITO и получить супергидрофобное покрытие.