НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
ru Русский
Версия для слабовидящих
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
Подать статью

Статьи по ключевому слову "атомно-слоевое осаждение"

Влияние плазменной обработки in situ при атомно-слоевом осаждении GaN на скорость роста и морфологию пленки

Физика молекул, кластеров и наноструктур
Максимова А.А. Уваров А.В. Вячеславова Е.А. Баранов А.И. Ярчук Э.Я. Гудовских А.С.
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.2
  • 5
  • 461
  • Страницы: 152-156

Свойства ультратонких эпитаксиальных пленок нитрида ниобия на сапфире с С–cut ориентацией

Физика конденсированного состояния
Шибалов М.В. Сиротина А.П. Першина Е.А. Шибалова А.А. Мумляков А.М. Порохов Н.В. Тархов М.А.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 6
  • 2201
  • Страницы: 69-73

Исследование фотопреобразовательных гетеропереходов n-GaP/p-Si, полученных методом PE-ALD

Гетероструктуры, сверхрешетки, квантовые ямы
Кияницын С.Ю. Баранов А.И. Уваров А.В. Максимова А.А. Вячеславова Е.А. Гудовских А.С.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.3
  • 9
  • 2555
  • Страницы: 90-95

Декоративные защитные покрытия, наносимые методом атомно-слоевого осаждения, и расчет спектральных характеристик таких покрытий

Физическая оптика
Аксенова В.В. Меш М.В. Колоколов Д.С. Карцева Т.Ю. Федоров Н.А. Павлюченко А.С.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.2
  • 17
  • 2540
  • Страницы: 165-171

Смачиваемость прозрачных проводящих наноструктурированных покрытий ITO и ITO/Al2O3

Атомная физика, физика кластеров и наноструктур
Аксенова В.В. Смирнова И.П. Марков Л.К. Павлюченко А.С. Колоколов Д.С. Волков Д.Ю.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.1
  • 21
  • 2806
  • Страницы: 404-410

Плазменно-осажденный фосфид индия и его электрофизические свойства

Физическая электроника
Максимова А.А. Уваров А.В. Кириленко Д.А. Баранов А.И. Вячеславова Е.А. Гудовских А.С.
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 27
  • 3623
  • Страницы: 123-127

Сообщить автору об опечатке:

Адрес страницы с ошибкой:

Текст с ошибкой:

Ваш комментарий или корректная версия: