Статьи по ключевому слову "атомно-слоевое осаждение"

Влияние плазменной обработки in situ при атомно-слоевом осаждении GaN на скорость роста и морфологию пленки

Физика молекул, кластеров и наноструктур
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.2
  • 0
  • 20
  • Страницы: 152-156

Свойства ультратонких эпитаксиальных пленок нитрида ниобия на сапфире с С–cut ориентацией

Физика конденсированного состояния
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 2
  • 1769
  • Страницы: 69-73

Исследование фотопреобразовательных гетеропереходов n-GaP/p-Si, полученных методом PE-ALD

Гетероструктуры, сверхрешетки, квантовые ямы
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.3
  • 7
  • 2117
  • Страницы: 90-95

Декоративные защитные покрытия, наносимые методом атомно-слоевого осаждения, и расчет спектральных характеристик таких покрытий

Физическая оптика
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.2
  • 13
  • 2140
  • Страницы: 165-171

Смачиваемость прозрачных проводящих наноструктурированных покрытий ITO и ITO/Al2O3

Атомная физика, физика кластеров и наноструктур
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.1
  • 16
  • 2293
  • Страницы: 404-410

Плазменно-осажденный фосфид индия и его электрофизические свойства

Физическая электроника
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 25
  • 3137
  • Страницы: 123-127