Статьи по ключевому слову "атомно-слоевое осаждение" | Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Физико-математические науки

Структурные и оптические свойства слоев InP, полученных методом плазмохимического атомно-слоевого осаждения при различных температурах

Уваров А.В. Баранов А.И. Максимова А.А. Вячеславова Е.А. Поздеев В.А. Михайлов О.П. Никитина Е.В. Гудовских А.С.

Максимова А.А. Уваров А.В. Вячеславова Е.А. Баранов А.И. Ярчук Э.Я. Гудовских А.С.

Шибалов М.В. Сиротина А.П. Першина Е.А. Шибалова А.А. Мумляков А.М. Порохов Н.В. Тархов М.А.

Кияницын С.Ю. Баранов А.И. Уваров А.В. Максимова А.А. Вячеславова Е.А. Гудовских А.С.

Аксенова В.В. Меш М.В. Колоколов Д.С. Карцева Т.Ю. Федоров Н.А. Павлюченко А.С.

Аксенова В.В. Смирнова И.П. Марков Л.К. Павлюченко А.С. Колоколов Д.С. Волков Д.Ю.

Максимова А.А. Уваров А.В. Кириленко Д.А. Баранов А.И. Вячеславова Е.А. Гудовских А.С.