Статьи по ключевому слову "атомно-слоевое осаждение"
Свойства ультратонких эпитаксиальных пленок нитрида ниобия на сапфире с С–cut ориентацией
- Год: 2023
- Том: 16
- Выпуск: 3.1
- 1
- 1293
- Страницы: 69-73
Исследование фотопреобразовательных гетеропереходов n-GaP/p-Si, полученных методом PE-ALD
- Год: 2023
- Том: 16
- Выпуск: 1.3
- 6
- 1653
- Страницы: 90-95
Декоративные защитные покрытия, наносимые методом атомно-слоевого осаждения, и расчет спектральных характеристик таких покрытий
- Год: 2023
- Том: 16
- Выпуск: 1.2
- 12
- 1725
- Страницы: 165-171
Смачиваемость прозрачных проводящих наноструктурированных покрытий ITO и ITO/Al2O3
- Год: 2023
- Том: 16
- Выпуск: 1.1
- 14
- 1825
- Страницы: 404-410
Плазменно-осажденный фосфид индия и его электрофизические свойства
- Год: 2022
- Том: 15
- Выпуск: 3.3
- 21
- 2580
- Страницы: 123-127