Статьи по ключевому слову "атомно-слоевое осаждение" | Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Физико-математические науки

Влияние плазменной обработки in situ при атомно-слоевом осаждении GaN на скорость роста и морфологию пленки

Максимова А.А. Уваров А.В. Вячеславова Е.А. Баранов А.И. Ярчук Э.Я. Гудовских А.С.

Шибалов М.В. Сиротина А.П. Першина Е.А. Шибалова А.А. Мумляков А.М. Порохов Н.В. Тархов М.А.

Кияницын С.Ю. Баранов А.И. Уваров А.В. Максимова А.А. Вячеславова Е.А. Гудовских А.С.

Аксенова В.В. Меш М.В. Колоколов Д.С. Карцева Т.Ю. Федоров Н.А. Павлюченко А.С.

Аксенова В.В. Смирнова И.П. Марков Л.К. Павлюченко А.С. Колоколов Д.С. Волков Д.Ю.

Максимова А.А. Уваров А.В. Кириленко Д.А. Баранов А.И. Вячеславова Е.А. Гудовских А.С.