Влияние давления в реакторе на оптические свойства структур InGaN, выращенных методом ГФЭ МОС
Авторы:
Аннотация:
Исследовано влияние давления в реакторе на оптические свойства InGaN при их выращивании методом газофазной эпитаксии из металлорганических соединений. Обнаружено, что изменение указанного давления приводит как к модификации вхождения индия, так и к существенному изменению оптических свойств структур.