Статьи по ключевому слову "МЭМС"

Компактный МЭМС-переключатель на основе кантилевера с тремя упругими элементами

Физическая электроника
  • Год: 2025
  • Том: 18
  • Выпуск: 3.2
  • 6
  • 866
  • Страницы: 168-171

МЭМС-переключатель с дополнительным электродом для систем высокоскоростной связи

Физическая электроника
  • Год: 2025
  • Том: 18
  • Выпуск: 3.1
  • 6
  • 976
  • Страницы: 178-181

Комбинированный резистивно-емкостной МЭМС-переключатель для передовых систем связи

Физическая электроника
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.1
  • 13
  • 3324
  • Страницы: 186-190

Компактный МЭМС-переключатель для перспективных радиолокационных систем

Физическая электроника
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.1
  • 13
  • 3408
  • Страницы: 178-181

Моделирование емкостного МЭМС-переключателя с «плавающим» электродом

Физическая электроника
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 28
  • 4897
  • Страницы: 454-458

МЭМС-переключатель на основе кантилевера с увеличенным контактным усилием: первые результаты

Физическая электроника
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 22
  • 4817
  • Страницы: 428-433

Тестирование быстрого электрохимического насоса с ПДМС мембраной

Физическая электроника
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 7
  • 4514
  • Страницы: 423-427

МЭМС-переключатель с контактами из платины и рутения

Радиофизика
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 20
  • 5470
  • Страницы: 335-339

Малоиндукционный интегральный нагреватель для термостатирования МЭМС газовой ячейки

Физическая электроника
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 31
  • 5891
  • Страницы: 147-150

Оптимизация рабочих характеристик МЭМС-переключателя на основе кантилевера

Физическая электроника
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.2
  • 34
  • 5877
  • Страницы: 140-144