SPbPU Journal - Physics and Mathematics
St. Petersburg Polytechnic University Journal: Physics and Mathematics Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University
en Английский
Version for the visually impaired
Since 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
Submit Your Paper

Articles by keywords "electron-beam lithography"

E-beam resist AR-N 7520 in the formation of the photonic structures

Physical materials technology
Fetisenkova K.A. Melnikov A.E. Miakonkikh A.V. Rogozhin A.E. Tatarintsev A.A.
  • Year: 2024
  • Volume: 17
  • Issue: 3.1
  • 5
  • 623
  • Pages: 278-282

Сообщить автору об опечатке:

Адрес страницы с ошибкой:

Текст с ошибкой:

Ваш комментарий или корректная версия: