Плазмохимическое осаждение фосфида бора и его оптические свойства

В этой статье представлено исследование роста тонких пленок фосфида бора (BP) методом плазмохимического осаждения и его оптических свойств. Тонкие пленки BP осаждались на кварцевую подложку с использованием смеси диборана (B₂H₆) и фосфина (PH₃) с водородом в качестве прекурсоров. Оптические свойства были исследованы с помощью оптической спектроскопии, которая показала высокую оптическую прозрачность в видимой и ближней инфракрасной областях. Пленки BP имели ширину запрещенной зоны примерно 1,9 эВ, что указывает на их потенциал для использования в производстве оптоэлектронных приборов. Результаты показывают, что плазмохимическое осаждение является многообещающим методом выращивания тонких пленок BP с требуемыми оптическими свойствами.