Синтез тонкопленочных структур оксида ванадия методом спрей-пиролиза

Физические свойства пленок зависят от определенных параметров, таких как уровень и соотношение легирующих добавок, температура подложки, условия осаждения, термообработка, материал подложки. В данной работе выявлено, что при повышении температуры подложки прозрачность пленок увеличивалась; с повышением температуры микроструктура пленки становится более тонкой, что приводит к повышению показателя преломления; уменьшение структурных дефектов уменьшает коэффициент экстинкции пленок.