Новые методы синтеза высококачественных тонких пленок с помощью короткого и ультракороткого мощного импульсного магнетронного распыления

Физика конденсированного состояния
Авторы:
Оскирко Владимир Олегович Работкин Сергей Викторович Павлов Артём Павлович Семёнов Вячеслав Аркадьевич Соловьёв Андрей Александрович Гренадёров Александр Сергеевич Захаров Александр Николаевич Кожевников Василий Юрьевич
Аннотация:

Данная статья посвящена исследованию повышения средней плотности тока ионов на подложку при коротком и сверхкоротком импульсном магнетронном распылении с высокой мощностью (HiPIMS). Теоретические и экспериментальные данные показывают, что при сохранении среднего значения мощности HiPIMS сверхкороткий режим обеспечивает более чем трёхкратное увеличение плотности тока ионов материала мишени на подложку. Полученные результаты обладают перспективами для повышения качества покрытий HiPIMS IPVD методом осаждения.