Статьи по ключевому слову "мощное импульсное магнетронное напыление"
Новые методы синтеза высококачественных тонких пленок с помощью короткого и ультракороткого мощного импульсного магнетронного распыления
- Год: 2023
- Том: 16
- Выпуск: 3.1
- 5
- 622
- Страницы: 26-30