Исследования влияния потока мышьяка на термическую десорбцию собственного оксида GaAs и морфологию поверхности

В данной работе представлены результаты исследований влияние потока мышьяка на процессы термической десорбции собственного оксида и результирующую морфологию поверхности подложек GaAs(001). Показано, что экспозиция GaAs в потоке As на стадии удаления оксида существенно модулирует процессы разложения природного оксида и его химическое взаимодействие с материалами подложки, приводя к снижению плотности и увеличению среднего размера ямок, образующихся в результате травления. При этом уменьшение толщины окисла приводит к пропорциональному снижению плотности и размеров формирующихся углублений.