Свойства ультратонких эпитаксиальных пленок нитрида ниобия на сапфире с С–cut ориентацией
Авторы:
Аннотация:
В данной работе были получены эпитаксиальные сверхпроводящие ультратонкие пленки нитрида ниобия на C-cut сапфире. Пленка нитрида ниобия осаждалась методом атомно-слоевого осаждения, усиленного плазмой из металлорганического прекурсора. Были изучены структурные свойства эпитаксиальной пленки и некоторые сверхпроводящие характеристики.