Способ формирования аморфных и кристаллических нанокластеров кремния в диэлектрических пленках
Авторы:
Аннотация:
Предложен способ формирования нанокристаллов кремния и аморфных нанокластеров кремния в пленках нестехиометрических нитрида и оксида кремния на стеклянных и кремниевых подложках. Способ основан на использовании нано- и фемтосекундных импульсных лазерных отжигов.