Последние выпуски
Публикации
Orcid ID
0000-0001-8635-2573Влияние внутренних механических напряжений в многослойной структуре на смещение для различных конструкций микроэлектромеханических мембран
- Год: 2024
- Том: 17
- Выпуск: 3.2
- 11
- 2957
- Страницы: 121-124
Исследование формирования элементов терагерцовой фотоники методом плазменного травления
- Год: 2025
- Том: 18
- Выпуск: 3.1
- 3
- 664
- Страницы: 165-168

