Последние выпуски
Публикации
Orcid ID
0000-0001-7989-6513Влияние внутренних механических напряжений в многослойной структуре на смещение для различных конструкций микроэлектромеханических мембран
- Год: 2024
- Том: 17
- Выпуск: 3.2
- 11
- 2978
- Страницы: 121-124

