НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Автор Амельчук Дмитрий Геннадьевич
Подать статью
Последние выпуски
Амельчук Дмитрий Геннадьевич
  • Место работы
    Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН
  • Санкт-Петербург, Российская Федерация

Перенос гетероэпитаксиальных слоёв 3C-SiC, выращенных на кремнии, на подложку 6H-SiC методом прямого сращивания

Рост структуры, поверхность и интерфейсы
Амельчук Д.Г. Мынбаева М.Г. Смирнов А.Н. Давыдов В.Ю. Лебедев С.П. Лебедев А.А.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.3
  • 28
  • 2169
  • Страницы: 39-43