Структурные и оптические свойства слоев InP, полученных методом плазмохимического атомно-слоевого осаждения при различных температурах

Физическое материаловедение
Авторы:
Уваров А.В. Баранов А.И. Максимова А.А. Вячеславова Е.А. Поздеев В.А. Михайлов О.П. Никитина Е.В. Гудовских А.С.
Аннотация:

Метод плазмохимического атомно-слоевого осаждения, (PE-ALD), использован для осаждения фосфида индия (InP) на кремниевые подложки при температурах от 250 до 380 °C. Изучено влияние температуры осаждения на скорость роста, структуру и оптические свойства пленок. Повышение температуры приводит к улучшению кристалличности и качеству фотолюминесценции, что указывает на снижение плотности дефектов.