Исследование планарной структуры микрорезонатора с квантовыми точками In0.63Ga0.37As и непоглощающими зеркалами Al0.2Ga0.8As/Al0.9Ga0.1As
Планарная структура вертикального микрорезонатора с непоглощающими распределенными брэгговскими отражателями Al0.2Ga0.8As/Al0.9Ga0.1As была изготовлена методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Квантовые точки, сформированные по механизму Странски-Крастанова из слоя In0.63Ga0.37As демонстрируют фотолюминесценцию при комнатной температуре вблизи 1110 нм, с характерной полушириной пика около 80 мэВ. Величина спектрального рассогласования между положением пика фотолюминесценции активной области и провалом в спектре отражения составило около 115 мэВ при температуре 290 К. Сдвиг положения резонансной длины волны в спектре отражения при смещении от центра к краю пластины не превысил 15 мэВ. Оценочная величина шероховатости поверхности планарной структуры вертикального микрорезонатора толщиной 8 мкм не превысила 1.3 нм.