Исследование гибридной структуры n-алмаза и углеродных наностенок, синтезированной методом RF-PECVD

Физическое материаловедение
Авторы:
Мумляков Александр Михайлович Першина Елена Андреевна Шибалова Анастасия Андреевна Шибалов Максим Викторович Ануфриев Юрий В. Филиппов Иван Андреевич Сень Василий Тархов Михаил Александрович
Аннотация:

В данной работе на кремниевой пластине диаметром 100 мм была синтезирована методом RF-PECVD (тип CCP) гибридная структура n-алмаз – углеродные наностенки. Для данной структуры был проведен анализ методами просвечивающей микроскопией, сканирующей микроскопией и рентгеновской дифракцией. Установлено, что добавление угарного газа (CO) в газовую смесь метана (CH4), аргона (Ar) и водорода (H2) приводит к образованию частиц n-алмаза в базальном слое. Используя плазмохимическое травление в кислород-содержащей среде, были успешно удалены углеродные наностенки и отдельно изучен нижний слой, состоящий из n-алмаза, для которого впервые были получены результаты рентгеновской дифракции отдельной фазы n-алмаза.