Исследование особенностей формирования композитного электродного материала на основе Super C45/RuO2 и Super C45/MnO2 для асимметричных планарных суперконденсаторов
Разработан метод изготовления асимметричного планарного суперконденсатора с разнородными электродами на основе Super C45/RuO2 и Super C45/MnO2 методом электрофоретического осаждения. Топология электродов была сформирована с помощью лазерной гравировки. Для осаждения композита на поверхность ситалловых пластин с никелевым покрытием был выбран метод электрофоретического осаждения. Были изучены особенности последовательного осаждения композиционных материалов на поверхность подложки, а также влияние режимов электрофореза на состав и морфологию формируемых электродных слоев. Исследования проводились с целью выявления зависимости емкостных характеристик сформированных электродных материалов от параметров процесса. Разработана подход для получения миниатюрных планарных суперконденсаторов с асимметричной конфигурацией для широкого применения в микроэлектронике.