Детектирование давления со структурами ZnO в матрице ПДМС с помощью спектроскопии электрического импеданса

Физика конденсированного состояния
Авторы:
Николаева Александра Владиславовна Кондратьев Валерий Михайлович Кадинская Светлана Алексеевна Маркина Диана Евгеньевна Кочетков Федор Михайлович Зубов Федор И. Монастыренко Анатолий Ойзерович Большаков Алексей Дмитриевич
Аннотация:

Работа посвящена созданию и исследованию сенсоров механического давления на основе микрокристаллов оксида цинка, синтезированных низкотемпературным гидротермальным методом. Микрокристаллы ZnO были инкапсулированы в мембрану из полидиметилсилоксана (ПДМС) методом бакетного центрифугирования между двумя керамическими подложками со встречно-штырьевыми золотыми контактами. Корреляция между механической нагрузкой, приложенной к сенсору, и его электрофизическими характеристиками изучена с помощью спектроскопии электрического импеданса. Результаты работы представляют интерес для создания сенсоров давления, в частности для миниатюрных портативных гибких систем мониторинга состояния здоровья.