Изменение морфологии многослойного пористого кремния при ступенчатом уменьшении плотности тока травления

Мы представляем экспериментальное исследование многослойного пористого кремния, полученного электрохимическим травлением. Особое внимание уделяется эффектам, возникающим в результате постепенного уменьшения плотности тока при сохранении общего времени травления. Было обнаружено, что, несмотря на режим травления, образуется двухслойная структура с различными показателями пористости. При этом, на фотолюминесценцию влияет только морфология верхнего слоя.