Исследование композитной структуры на основе серебра и кремниевых нанонитей
Авторы:
Аннотация:
В данной работе мы предлагаем метод создания композитной структуры Ag/Si, состоящей из массива вертикальных кремниевых нанонитей (КНН), декорированного наночастицами серебра (Ag НЧ). Для получения кремниевых нанонитей применен процесс двухстадийного металл-стимулированного химического травления Si, а для декорирования КНН Ag НЧ − метод атомно-слоевого осаждения, с помощью которого было получено равномерное распределение Ag НЧ в массиве КНН по всей их высоте.