Изготовление кремниевых оптических наноантенн методом сверхвысоковакуумной СТМ-литографии
Авторы:
Аннотация:
В статье сообщается об исследовании эмиссии света, индуцированной СТМ-контактом с чистой кремниевой поверхностью и модифицированной методом СТМ-литографии. На поверхности кремния были созданы нанохолмы, выступающие в роли наноантенн, усиливающие эффект эмиссии света. Однако, они не обеспечили достижение поставленной цели. Тем не менее, осаждение дополнительного слоя нелегированного кремния толщиной 10 нм привело к увеличению квантовой эффективности по сравнению с исходной подложкой. Этот эффект позволит изготавливать наноразмерные электрически управляемые источники света, необходимые для гибридных оптоэлектронных чипов.