Ионный транспорт в единичных твердотельных нанопорах, сформированных методами оптической и ионной литографии

Данная работа посвящена изучению транспортных свойств твердотельных нанопор. Нанопоры диаметром 35‒40 нм были сформированы в тонкой «свободно стоящей» мембране из нитрида кремния толщиной 300  нм. Была разработана экспериментальная установка для изучения транспортных характеристик одиночных нанопор. На основании результатов электрических измерений была рассчитана проводимость нанопор для  концентраций электролита KCl в диапазоне 10^‒4–1 М. Увеличение проводимости нанопор наблюдается при увеличении концентрации электролита выше 10^‒2 М. Эта зависимость может быть объяснена перекрытием  двойного электрического слоя, что приводит к появлению заряженной области внутри нанопор.