Малоиндукционный интегральный нагреватель для термостатирования МЭМС газовой ячейки
Авторы:
Аннотация:
В данной работе описано решение проблемы термостатирования и возникновения магнитного поля, созданного резистивным нагревателем, в газовой ячейке атомных часов. Был разработан малоиндукционный интегральный нагреватель в виде двухслойной системы металлизации, которая взаимно компенсирует магнитные поля друг друга. Было проведено численное моделирование, по результатам которого был разработан прототип малоиндукционного интегрального нагревателя с применением прецензионой фотолитографии и технологий нанесения тонкоплёночных проводящих и диэлектрических покрытий. Были проведены статические и динамические испытания полученного интегрального нагревателя.