Исследование областей кремния, модифицированного ФИП, методами АСМ и рамановской спектроскопии
Авторы:
Аннотация:
В данной работе представлены результаты исследований с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ) и рамановской спектроскопии влияния высокотемпературного отжига на параметры высоты/глубины областей кремния, модифицированных фокусированным ионным пучком (ФИП). Показано, что обработка ФИП с 5 проходами пучка приводит к «вспучиванию» участков модифицированного кремния. Установлено, что глубина модифицированных ФИП участков после отжига при 600 и 800 °С различна. Увеличение числа проходов в обоих случаях приводило к увеличению глубины ФИП-обработанных участков.