Особенности формирования структур планарного суперконденсатора на основе super C45-RuO2

Физика молекул
Авторы:
Кицюк Евгений Павлович Каковкина Юлия Ивановна Исокжанов Шахбоз Шокиржон Лебедев Егор Александрович Рязанов Роман Михайлович
Аннотация:

Рассмотрен способ формирования электродов планарного суперконденсатора на основе Super C45 и RuO2 методом электрофоретического осаждения. Изучены особенности электрофоретического осаждения и влияние основных технологических режимов на морфологию и состав формируемых слоев электродных материалов. Был разработан технологический маршрут изготовления прототипов планарных суперконденсаторов с применением лазерной гравировки для нанесения топологического рисунка. Таким образом, стало возможным создание конструкций планарных суперконденсаторов для широкого спектра применений в микроэлектронике.