Моделирование распыления поверхности карбида кремния при бомбардировке ионами и кластерами
Авторы:
Аннотация:
Представлены характеристики распыления поверхности (111) кубического карбида кремния под воздействием низкоэнергетической бомбардировки ионами и кластерами Si[N]C[N](N=1-60). Произведен анализ корреляции между неаддитивным возрастанием коэффициентов распыления и особенностями каскада соударений в мишени в зависимости от размера и энергии налетающего кластера.