НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "плазмохимическое осаждение"

Спектроскопия полной проводимости гетероструктур фосфида бора на кремниевых подложках, полученных методом плазмохимического осаждения

Физика конденсированного состояния
Баранов А.И. Вторыгин Г.Э. Уваров А.В. Максимова А.А. Вячеславова Е.А. Гудовских А.С.
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3
  • 25
  • 2733
  • Страницы: 17-24

Плазмохимическое осаждение фосфида бора и его оптические свойства

Физическое материаловедение
Максимова А.А. Уваров А.В. Поздеев В.А. Кириленко Д.А. Баранов А.И. Вячеславова Е.А. Гудовских А.С.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.2
  • 34
  • 3879
  • Страницы: 273-277

Плазменно-осажденный фосфид индия и его электрофизические свойства

Физическая электроника
Максимова А.А. Уваров А.В. Кириленко Д.А. Баранов А.И. Вячеславова Е.А. Гудовских А.С.
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 39
  • 5423
  • Страницы: 123-127