Игнатенко Виктор Александрович
  • Место работы
    Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
  • Санкт-Петербург, Российская Федерация

Влияние динамических и температурных неоднородностей на эпитаксиальные процессы в горизонтальном CVD-реакторе

Математическое моделирование физических процессов
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.1
  • 15
  • 2618
  • Страницы: 336-340

Сообщить автору об опечатке:

Адрес страницы с ошибкой:

Текст с ошибкой:

Ваш комментарий или корректная версия: