НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Автор Игнатенко Виктор Александрович
Подать статью
Последние выпуски
Игнатенко Виктор Александрович
Игнатенко Виктор Александрович
Место работы
Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Санкт-Петербург, Российская Федерация

Влияние динамических и температурных неоднородностей на эпитаксиальные процессы в горизонтальном CVD-реакторе

Математическое моделирование физических процессов
Игнатенко В.А. Смирновский А. А.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.1
  • 19
  • 4406
  • Страницы: 336-340