Изучение механизмов формирования террас германия на кремнии (100) при МПЭ методом ДБОЭ

Атомная физика, физика кластеров и наноструктур
Авторы:
Кукенов Олжас Игоревич Дирко Владимир Владиславович Лозовой Кирилл Александрович Коханенко Андрей Павлович Войцеховский Александр Васильевич Майер Ксения Александровна
Аннотация:

В работе по картинам дифракции в направлении [100] проведено сравнение ширины террас Ge и Si на Si(100) при температурах в диапазоне от 200 °С до 800 °С. Установлены температуры, при которых происходит  смена механизмов роста формирования моноатомных ступеней Ge на Si(100).