Синтез тонкопленочных структур оксида вольфрама методом спрей-пиролиза

Приборы и техника физического эксперимента
Авторы:
Зинченко Тимур Олегович Печерская Екатерина Анатольевна Новичков Максим Дмитриевич Козлов Геннадий Васильевич Карпанин Олег Валентинович
Аннотация:

Оксид вольфрама (WO3) – прозрачный полупроводниковый материал, который был широко изучен для применения в электрохромных окнах. Поликристаллические тонкие пленки оксида вольфрама p-типа (WO3) были осаждены методом спрей-пиролиза с использованием в качестве прекурсора – гексахлорид вольфрама (WCl6). Рассмотрены технологические режимы синтеза и построены вольт-амперные характеристики полученных покрытий.