Система встречно-штыревых золотых электродов для кондуктометрического газового сенсора на поверхности стеклянной подложки

Современные города с развитой промышленностью страдают от большого количества выбросов в атмосферу. Поэтому перед современными учеными стоит задача создания датчиков загрязнителей окружающей среды. В данной работе рассматривается одна из задач создания газочувствительного элемента кондуктометрического сенсора парниковых газов в атмосфере. Важным компонентом газочувствительного элемента является несущая подложка с разветвленной системой электродов. Электродная система должна быть стабильной и иметь химическую, термическую и механическую стойкость. В работе разработана методика создания системы золотых электродов газочувствительного элемента на поверхности стеклянной подложки. Рассматривается методика увеличения механическая прочности электродов. Механическая прочность тонких пленок во многом зависит от внутрислойного, межслоевого сцепления компонентов и адгезии к несущей подложке. Для данной работе достаточным является использование одного числового параметра, характеризующего механическое стойкость слоя в целом. Для контроля механической прочности электродов использовался метод определения нанотвердости. Нанотвердость измеряли методом зондовой литографией на атомно-силовом микроскопе.