Газовые сенсоры на основе наностержней оксида цинка с коллоидными квантовыми точками

Представлено конструкторско-технологическое решение повышения временной стабильности газовых сенсоров на основе структуры наностержни-коллоидные квантовые точки. Для этого выращены наностержни оксида цинка, ориентированные преимущественно к нормали поверхности. На полученную структуру ВЧ-магнетронным распылением осаждался нитрид кремния, с последующим травлением до уровня коллоидных точек оксида цинка. Благодаря ускоренным испытаниям на старение установлено, что наностержни оксида цинка, защищенные карбидом кремния, демонстрируют большую временную стабильность засчет меньшего окисления поверхности, приводящего к снижению удельной площади поверхности. На полученную структуру методом центрифугирования наносились наночастицы серебра, обладающие плазмонным эффектом.