Развитие морфологии поверхности германия при облучении ионами галлия

Представлены экспериментальные результаты исследования развития морфологии поверхности германия при облучении фокусированным пучком ионов галлия при различных углах падения ионов и дозы облучения. Показано, что начиная с дозы 5·10¹⁵ см^‒2, в приповерхностном слое образуется пористая структура, которая с ростом дозы приводит к формированию губчатой морфологии с толщиной стенок около 20 нм и глубиной до 150 нм. При изменении угла падения ионного пучка относительно нормали к поверхности наблюдается наклон пор в коллинеарном направлении.