Особенности формирования оксидных пористых структур на основе SiO2–SnOх

Подложки современных газочувствительных сенсоров изготавливают из пористого кремния, обладающего высокой удельной поверхностью. Для повышения стабильности работы и селективности таких сенсоров на их поверхность наносят металлосодержащие пленки. В настоящей работе на поверхность пористого кремния наносили пленку оксида олова, имеющую такие преимущества, как широкая запрещенная зона, низкая стоимость, высокая чувствительность и нетоксичность материала. Пористый кремний получали электрохимическим анодированием монокристаллического кремния КЭФ (100). На образцы пористого кремния были нанесены пленки оксида олова методом вакуумно-термического испарения. При осаждении металлоксидной пленки на пористом кремнии его поверхность становится более текстурированной, наблюдается образование большого количества наноразмерных гранул. Оптические свойства образцов изучались методом УФ-спектроскопии. Установлено присутствие на поверхности пористого кремния окисленного олова в виде SnO. Показано, что, термическое осаждения олова на пористый кремний ведет к изменению положения и формы полосы фотолюминисценции. Результаты, описанные в работе, показывают, что метод вакуумно-термического испарения может успешно использоваться для формирования пленок оксида олова на пористом кремнии. Разработанные нанокомпозиты могут быть использованы для изготовления датчиков обнаружения газов.