МЭМС-переключатель с контактами из платины и рутения

Радиофизика
Авторы:
Уваров Илья Владимирович Наумов Виктор Васильевич Куприянов Александр Николаевич Изюмов Михаил Олегович Амиров Ильдар Искандерович
Аннотация:

Переключатели, изготовленные по технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС), обладают выдающимися рабочими характеристиками и представляют интерес для множества применений. Недостатком этих устройств является невысокая надежность, обусловленная деградацией металлических контактов. Подбор материала контактов может решить проблему. В этой работе исследуются рабочие характеристики контактов из платины и рутения. Выполнены измерения сопротивления и ресурса контактов в холодном режиме.